半導体向け Sievers TOC計～原水 / RO水 / 回収水まで～
Sievers Instruments For Microelectronics Applications
- TOP
- 半導体向け Sievers TOC計
半導体アプリケーション向け Sievers TOC計
半導体業界では超純水（UPW）の安定供給と監視が重要です。水質が規定範囲から逸脱した場合は迅速に対応する必要があります。Sievers TOC計はさまざまな半導体製造プロセスの水質監視に使用されます。
超純水製造フローとTOCモニタリングポイント
Sievers 独自の測定技術 「ガス透過膜式導電率測定方式」
サンプル水が紫外線（UV）により酸化分解されると、多種の有機物イオンが発生します。正確なTOC値を得るためには、炭素以外のイオンを正確に除去する工程が必要となります。【ガス透過膜式導電率測定方式の仕組み】
① 紫外線（UV）により酸化分解
② 多くの有機物イオンが発生
③ ガス透過膜により炭素のみを分離し、DI水側へ移動
④ 導電率セルにより、TOC値を算出
⑤ イオン交換樹脂で、炭素を除去
直接導電率測定方式
【測定原理】
有機物分解前後のサンプル水の導電率差をTOCに換算
【特長】
迅速な診断/トラブルシューティングツール
一般的な監視ポイント向け
ガス透過膜式導電率測定方式
【測定原理】
CO2のみガス透過膜で分離し、純水中で他のイオンの影響を排除して導電率を測定しTOCに換算
【特長】
多くのUPWシステムに存在する有機ハロゲン化合物やアミンによる誤検知や検知漏れを防止
Sievers TOC計のラインアップ
原水 / RO水 / 回収水 の監視
Sievers M9e オンライン型 / ポータブル型は、独自のMC技術と幅広い測定範囲（0.03 ppb〜50 ppm）により、さまざまなアプリケーションに対応できます。オプションのターボモード（分析時間4秒）は回収水監視に役立ちます。Sievers M9e の特長：
・機差のマッチング
・超低濃度域の安定性
・自動操作（校正 / 検証 / データ分析など）
・12か月の校正安定性
UPW / 二次純水 の監視
Sievers M500eは、低濃度域（0.03 ppb〜2.5 ppm）を対象とした、無試薬型のUPW用オンラインTOC計です。Sievers M500e の特長：
・水質に重大なリスクをもたらす有機酸や有機窒素化合物などをMC技術で検出
・低DOおよび水素水システムで使用可能
・10インチタッチスクリーンによる直感的操作
・イソプロパノール 100ppb 検証プロトコル
・水質変動に応じて自動でゼロ調整を行う、アダプティブオートゼロ機能
診断 / トラブルシューティング
Sievers CheckPoint eは、UPWシステムの診断 / トラブルシューティングツールです。Sievers CheckPoint e の特長：
・直接導電率測定方式
・軽量（3.6 kg）で持ち運びが簡単
・加圧 / 非加圧サンプルの両方に対応可能