オンラインUPWホウ素計

半導体製造におけるシリカ汚染の早期検出と、イオン交換樹脂の最適な管理を目的として開発され、ICP-MSに匹敵する高感度を実現しました。3分ごとの高速測定により、従来の分析手法よりも迅速なプロセス制御が可能です。
UPW中のホウ素をpptレベルでリアルタイムに監視可能な唯一の装置です。