取扱製品
Sievers TOC計 M9eシリーズ
半導体産業における超純水や回収水のTOC管理、各種水質研究や調査用に使用されます。
◆特徴◆
○ガス透過膜式導電率測定方式で妨害イオンを除去
○測定間隔：2分間（ターボモード：4秒間）
○低ランニングコスト（ガス不要・校正：年1回）
○サイズ排除クロマトグラフィーシステム（SEC)への応用可能
用途に合わせた３タイプ：ラボ、ポータブル、オンラインをご用意しております。
アプリケーション例：半導体分野の超純水管理など
ガス透過膜式導電率測定方式とは？
サンプル水が紫外線（UV）により酸化分解されると、多種の有機物イオンが発生します。正確なTOC値を得るためには、炭素以外のイオンを正確に除去する工程が必要となります。
【ガス透過膜式導電率測定方式の仕組み】
① 紫外線（UV）により酸化分解
② 多くの有機物イオンが発生
③ ガス透過膜により炭素のみを分離し、DI水側へ移動
④ 導電率セルにより、TOC値を算出
⑤ イオン交換樹脂で、炭素を除去
直接導電率測定方式との違い
直接導電率測定方式
【測定原理】
有機物分解前後のサンプル水の導電率差をTOCに換算
【特長】
簡単なシステム構成・パージガスやドライヤーが不要
高感度・校正の安定
【欠点】
導電率の高いサンプル水に適用不可
否選択的な測定（全てのイオンをTOCとして測定してしまう）
ハロゲン化合物及び、硫黄・窒素・燐を含む化合物による測定妨害
ガス透過膜式導電率測定方式（Sievers TOC計）
【測定原理】
CO2のみガス透過膜で分離し、純水中で他のイオンの影響を排除して導電率を測定しTOCに換算
【特長】
検体の導電率に影響されない
高感度・高精度
選択的測定（CO2のみ測定）
校正の安定（導電率ｾﾝｻｰの電極が汚れない）
パージガスやドライヤー不要
【欠点】
高TOC水には試薬を使用
測定上限50ppm